แรงดันไฟฟ้า
380V, 110V, แรงดันไฟฟ้า 220 โวลต์
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
1100
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
600
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
± 0.005
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)
± 0.003