แรงดันไฟฟ้า
380V
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
1600
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
1500
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
800, 700, 650
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
± 0.003
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)
