แรงดันไฟฟ้า
380 โวลต์
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
400
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
550
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
300
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
± 0.003
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)
± 0.008
