แรงดันไฟฟ้า
380V
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
800
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
360
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
127
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
0.05/0.025/0.025มม.
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)
0.025/0.012/0.012มม.
