แรงดันไฟฟ้า
optional
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
700
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
255
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
370
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
± 0.005
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)
± 0.003