แรงดันไฟฟ้า
380V
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
450
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
320
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
305
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
± 0.005
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)
± 0.003
