แรงดันไฟฟ้า
220V/380V,50Hz
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
650
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
400
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
500
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
± 0.005
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)
± 0.003
