แรงดันไฟฟ้า
380V
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
1200
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
1500
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
± 0.05
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)