แรงดันไฟฟ้า
380V/50เฮิรตซ์
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (x) (มม.)
500 มม.
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (y) (มม.)
320 มม.
ระยะเคลื่อนที่ของโต๊ะ (z) (มม.)
450 มม.
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง
± 0.008
ความแม่นยำในการทำซ้ำ (x/y/z) (มม.)
± 0.005
